Der Einfluss der Vibrationspolierzeit auf die Qualität von EBSD-Mappings eines mehrphasigen Gefüges wird an CuZn30//CuZn80-Diffusionspaaren untersucht und optimiert. Die Diffusionspaare bestehen aus vier verschiedenen Phasen, deren Härte zwischen 70 HV0,1 und 454 HV0,1 variiert. Diese werden zuerst mechanisch geschliffen, poliert und anschlie-ßend durch eine Vibrationspolitur endpräpariert. Eine Vibrationspolitur von 2 h liefert für alle Phasen die höchste Qualität der aufgenommenen Kikuchi-Muster (Image Quality Werte) und die höchste korrekte Zuordnung der einzelnen Bildpunkte des Mappings. Präparationsartefakte, wie Reliefbildung, treten erst bei höheren Vibrationspolierzeiten (> 2 h) auf. Eine Vibrationspolitur der Diffusionspaare von 0,5 h liefert bereits eine ausreichende Oberflächenqualität für EBSD-Analysen.