Zur Sichtbarmachung von Nanokarbiden mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM) wurde die Eignung verschiedener Präparationsverfahren am Beispiel des pulvermetallurgisch hergestellten Kaltarbeitsstahles X153CrMoV12 untersucht. Neben dem Ionenstrahl-Böschungsschnitt-Verfahren wurde eine Ätzung auf Karbide mit schwefliger Säure sowie eine elektrolytische Politur mit dem Elektrolyt Struers A2 betrachtet. Die Präparation diente der Zielsetzung, eine geeignete Methode zum Nachweis von Nanokarbiden qualitativ mittels REM zu entwickeln, um vergleichsweise großflächige Probenbereiche zu charakterisieren und zeitaufwendige transmissionselektronenmikroskopische Untersuchungen zu substituieren. Die wärmebehandelten Proben wurden auf Karbide mit schwefliger Säure, mittels dem Ionenstrahl-Böschungsschnitt-Verfahren und dem elektrolytischen Polieren mit dem Elektrolyt A2 untersucht. Sowohl auf Probenoberflächen, die mittels Ionenstrahl-Böschungsschnitts als auch bei Proben, die mithilfe der elektrolytischen Politur präpariert wurden, konnten Nanokarbide mittels REM beobachtet werden. Die Untersuchungen erfolgten sowohl an konventionell vergüteten Werkstoffproben des Kaltarbeitsstahles X153CrMoV12 (Referenzzustand) als auch an tiefstgekühlten Proben. Proben, die einer Tiefsttemperaturbehandlung (TB) unterzogen worden sind, zeigten dabei eine deutlich erhöhte Anzahl an Nanokarbiden.