In dieser Arbeit wird gezeigt, wie das konventionelle Liftout-Verfahren mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB) so verändert werden kann, dass phasenselektive Proben, die für die Atomsondentomographie (APT, Atom Probe Tomography) geeignet sind, hergestellt werden können. Das modifizierte Verfahren kombiniert die selektive Tiefenätzung mit einem ortsspezifischen Liftout unter Verwendung eines Mikromanipulators in einer FIB/REM-Workstation. Dieses Verfahren wird für die phasenselektive Probenvorbereitung bei Legierungen mit komplexen Gefügen verwendet wie z. B. den korallenartigen und plattenartigen Siliziumstrukturen in der eutektischen Phase von Al-Si-Gussteilen. Das Verfahren erweist sich als zweckmäßig und zuverlässig aufgrund der hohen Erfolgsrate bei phasenspezifischen APT-Proben von hoher Qualität.