U. Mühle, M. Löffler, T. Schubert, T. E. M. Staab, R. Krause-Rehberg, and B. Kieback

Optimierung der FIB-Präparation an vielkristallinen Al-Werkstoffen durch Orientierungsbestimmung mittels EBSD

Optimization of the FIB Preparation on Polycrystalline Al Materials through the Orientation Determination by EBSD

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Für die Beurteilung des Ausscheidungszustandes in Aluminiumbasislegierungen mittels Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) ist eine Orientierung der Probe in [100]-Richtung der Matrix erforderlich. TEMs, deren Objektivlinsen für hohe Auflösungen optimiert sind, haben meist begrenzte Kippwinkel für die Probe. Es muss daher bereits bei der Probenahme der geforderten Kristallorientierung Rechnung getragen werden. Mittels Elektronenrückstreubeugung wurde in einem grobkörnigen Material ein günstig orientiertes Korn ausgewählt und in einer geeigneten Richtung mittels In-situ Lift-out Methode im Focused Ion Beam Gerät präpariert. Die finale Korrektur der Orientierung im TEM beträgt dann unter 12°.

Bibliographie
U. Mühle, M. Löffler, T. Schubert, T. E. M. Staab, R. Krause-Rehberg, and B. Kieback (2019). Optimization of the FIB Preparation on Polycrystalline Al Materials through the Orientation Determination by EBSD. Practical Metallography: Vol. 56, No. 1, pp. 22-33.
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ISSN 0032-678X