Metastabiler austenitischer Stahl X6CrNi-Nb18-10 (AISI 347) wandelt unter mechanischer Belastung bei Raumtemperatur teilweise in α‘-Martensit um. Um den Einfluss der Belastungsbedingungen auf die verformungsinduzierte Martensitumwandlung zu ermitteln, ist eine sorgfältige Oberflächenpräparation der zu untersuchenden Proben notwendig. Diese Präparation muss gewährleisten, dass die Probenoberfläche vor Anwendung der mechanischen Belastung martensitfrei ist. In dieser Arbeit wur den zwei Präparationsmethoden miteinander verglichen, mit einem besonderen Fokus auf den letzten Präparationsschritt – dem Polieren. Messungen mithilfe von Elektronenrückstreubeugung (EBSD) haben gezeigt, dass nach dem Vibrationspolieren große Volumenanteile von über 20 % von α‘-Martensit auf der Schliffoberfläche vorliegen, die jedoch durch elektrolytisches Polieren bzw. chemisches Ätzen nahezu restlos entfernt werden können.