Der DGM-Arbeitskreis "AK Quantitative 3D-Mikroskopie von Oberflächen" bietet ein Forum zum Austausch zwischen erfahrenen und neuen Anwendern von 3D-Messverfahren, in wissenschaftlichen und industriellen Bereichen sowie den Geräteherstellern.

Ziele:

• Charakterisierung von Oberflächen und deren Parameter zur Quantifizierung
• Ausarbeitung und Optimierung von Methoden zur 3D-Oberflächenanalyse
• Diskussion aktueller Problemstellungen
• Kalibrieren von Messgeräten

Beispiele für die 3D-Messverfahren:

• Makroskopische Bildschnittverfahren über Fokusebenen
• Weißlicht- und Laserprofilometrie
• Konfokale Laserrastermikroskopie
• Weißlichtinterferenzmikroskopie
• Stereobildpaaranalyse
• 3D-Messung mit digitaler Mikrostreifenprojektion

Thorsten Dziomba
3 Dimensional Nano-Metrology
Ohm-Building
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
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